本实用新型公开了一种针对大流量低温等离子体的工业废气处理设备，包括设置于底座上的处理装置箱体和设置于处理装置箱体两侧的进气口和出气口，所述处理装置箱体包括处理装置电路控制部分和处理装置气体处理部分，所述处理装置电路控制部分包括相互连接的高压穿墙接线瓷瓶、高压脉冲电源、升压变压器和匹配电感、调制脉冲电源以及电源开关控制面板；待处理的工业废气经由所述设置于处理装置气体处理部分的进气口进入，依次经过进气匀流板和DBD电极组后，由出气口排出。本实用新型可用单一电源驱动多组同轴式DBD电极，驱动数量可以几十至几百组同轴DBD电极，并使每一个电极都可以产生均匀的放电，并且可以在比较小的驱动功率下产生均匀放电。